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技术交流
与低温泵有关的名词术语
发布时间:2013-11-19   文章摘自:互联网
  名词
1 吸附:将一种气体或液体粘附在固体表面的过程。  
2 返流:真空泵中的流体(例如扩散泵油,机械泵润滑油等)返入了抽好了的真空腔体。当抽好了的腔体突然被打开或者暴露于大气时,气体进入真空室,也叫返流(返的是空气而不是油)。 真空泵工作在粘滞流真空度以下,即真空度低于10-1托,真空泵中的油分子就不会发生返流。
3 基础真空(极限真空)度:是指能获得的极限真空度(最高真空度或最低压力)。
4 抽气容量:是指低温泵能抽除(存留)某种特定气体的最大量,单位为托·升,mbar·L或者std·L。 通常抽气容量是指抽速降到初始抽速的一半时抽出的气体的量,这时低温泵需要再生了。 抽气容量主要由吸附决定(主要因素是吸附剂的性能和数量),因为与冷凝相比,吸附量要小与冷凝的量。
5 低温级(二级):是低温泵上温度最低的区域,它将冷量传输到内部的吸附阵上。  
6 低温冷凝:是指气体被冷冻在材料表面的过程。  
7 低温吸附:是指气体被活性炭吸附的过程。这些气体没有被胀板或吸附阵冷凝了。  
8 切换:在用两个或多个真空泵抽真空的过程中,从一级真空泵(粗抽泵)抽真空容器转为用二级真空泵(高真空泵)抽真空容器,称为切换。关掉粗抽阀并打开主阀用低温泵抽气就是“切换”。 切换值:切换时被抽容器中的气体质量有一个最大值,称为切换值(Crossover Value,单位为mbar·L或托·升)。切换值是低温泵能耐受冲击性气体的最大流量。超过这个值进行切换时会使低温泵温度超过20K而不能工作。 切换压力:切换时被抽容器中的压力(真空度),即可以打开主阀用低温泵抽气时已经(用粗抽泵)预抽到的真空度。
9 一级:是指低温泵制冷机两级中温度较高的一级,用来冷却靠外的低温板(障板和辐射屏)。  
10 绝热真空:是指当气体处在分子流动区,压力低于1×10-3托,热传导基本上可以忽略不计。  
11 Micron 有时指“微米”,有时指“毫托” 微米:长度单位, 1微米 = um =10-6米 毫托:压力单位, 1毫托=10-3托 =1/760,000个大气压   托:压力单位(或真空单位) 1托=1/760个大气压=133 Pa=1.33 mbar
12 分压:当腔体内气体由多个组分的组成时,各气体分压力便组成了真空腔总压力,其通常由残余气体分析器测得。  
13 预防性保养:是指通过主动保养设备提高设备的无故障运转时间。  
14 抽气速率(简称抽速):是指低温泵能够以多快的速率来抽取某种气体。它通常是指对气体的体积抽速,单位L/S。
15 再生:通过周期性的加热,来清除低温泵内所积聚的气体,使低温泵恢复到原来状态可以重新进行抽气作业。  
16 生产量:在晶片加工区,通过任何工具在一小时内所能生产的晶片数量。 Throughput的另一个意思低温泵的“最大流量”,指某低温泵对某种气体的最大质量抽速(容许放进真空泵的某气体的最大质量流量),超过这个量就会使低温泵的制冷机温度升高到超过20K而不能工作。
17 制冷、低温、普冷、深冷     制冷(有些地方写作“致冷”是不符合标准规定的)就是采用某种方法把温度降低到环境温度以下。按制冷的温度不同,可分为“普冷”和“深冷”,-120K以上叫普冷,-120K以下叫深冷。“深冷”在学术界通常称为“低温”,这时“制冷”单指“普冷”。制冷和低温不仅温度高低不同,而且获得方法上也有较大差异,温度越低越难以获得。