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技术交流
低温真空泵原理与结构
发布时间:2013-11-19   文章摘自:互联网
  低温泵又叫低温真空泵、冷泵、冷凝泵,是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的容积式真空泵,是无油高真空环境获得设备。低温泵的冷源可以是低温液体(液氮或液氦),也可以是低温制冷机。这里介绍制冷机型低温泵,这种低温泵的制冷机在两个温度级上产生制冷,分别冷却两个低温表面,被抽的气体就被冷却在低温表面上。

氦气纯化
低温泵的结构
  制冷机的一级通常工作在50K-70K范围,它用来冷却靠外的冷板,这个外部冷板既为更冷的冷板充当防辐射的屏蔽,同时又用来冷却挡在泵入口处的百叶窗(障板),当水蒸汽碰到障板上时就被冷冻在它上面,这极像液氮冷阱冷冻水蒸气的情形。
  制冷机的二级,即最冷的一级,通常工作在10K-20K之间,用来冷却靠内的冷板,它冷冻穿过百叶窗的N2、O2、Ar等气体。不能被这一温度冷冻的气体被位于冷板内部的活性炭吸附。