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技术交流
低温真空泵的应用领域
发布时间:2013-11-19   文章摘自:互联网
  低温泵适合用于希望获得10-1Pa至  10-9Pa真空度的场合,尤其适合应用于要求洁净无油和/或快速抽气的场合,例如:
● 真空排气设备
● 溅射镀膜设备
● 蒸发镀膜设备
● 离子注入设备
● 分子束外延设备

  使用以上设备的工业真空镀膜,例如:半导体与集成电路前工序、光学镀膜、太阳能电池板、光电子器件和真空电子器件制造、平板显示器件镀膜
● 电子束设备
● 空间模拟装置
● 高能物理研究装置
● 加速器束流管
● 表面分析装置