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公司一批新型低温真空泵顺利交付用户
发布时间:2017-12-11   新闻摘自:互联网

    近日,公司一批ICP200新型低温真空泵通过用户现场验收、顺利交付用户。 

    公司2013年开始,依托承担国家重大科技专项(02)超高真空冷泵研制项目,全力投入新型低温真空泵的开发与研制,经过四年来的不懈努力,研制的该型产品在接口形式和尺寸、真空度、抽气容量、抽速、一二级温度稳定性等方面达到国外同型号低温泵同等水平,极限真空度优于10-7Pa,抽速、抽气容量等性能一致性较高,具有自动再生功能。

    万瑞公司是国内首家实现GM制冷机及低温真空泵批量化生产的企业,在进口产品的巨大冲击下,公司制冷机与低温泵发展一度陷入低谷,近年来,公司引进人才、培育团队,投入大量财力、物力,着力提高产品一致性、可靠性,培养售后服务团队,通过几年来的艰辛努力和外部的大力支持,产品现已成功应用于集成电路PVD与离子注入机等领域,初步实现了GM低温制冷机与低温真空泵产业化。